永利电玩城网址49797_最新登录网站

当前位置:主页 > 行业资讯 > 本文

半导体行业产生的六氟乙烷有机废气该如何处理(六氟乙烷废气处理方法)

环保领域专家
  • 永利电玩城网址49797环保集团
  • 擅长:14年废气治理经验,提供方案及设备,助力企业废气达标排放

六氟乙烷,也称为全氟乙烷,化学式为C2F6,是一种有机化合物,常温常压下外观为无色气体状,无臭无味,无毒性。六氟乙烷微溶于水,可溶于乙醇,不ke燃,但与可燃气体一同燃烧时,会分解排放出有毒气体氟化氢,在密闭容器中遇高热,有开裂与爆炸危险。半导体是六氟乙烷的重要下游市场,电子级六氟乙烷是重要的等离子蚀刻气体,可应用在硅、氮化硅、磷硅等材料蚀刻方面,并可对电子器件表面进行清洗,可以广泛应用在集成电路、微电子器件、光纤光缆、太阳能电池等领域。本文将介绍半导体行业产生的六氟乙烷有机废气该如何处理?

六氟乙烷废气处理方法/工艺

六氟乙烷制备工艺较多,主要有热分解法、电化学氟化法、直接氟化法、金属氟化物氟化法、氟化氢催化氟化法等。因废气风量、种类、成分、浓度及温度不同,所选用的废气处理设备及工艺也有所不同。

以上就是《六氟乙烷废气处理方法》的全部内容,希望对您有所帮助。永利电玩城网址49797环保集团,泛半导体产业工艺废气治理系统解决方案提供商。如您有半导体产业废气治理(定制方案/采购系统设备)需求,即刻联系我们吧!


免责声明:本网部分内容整理为互联网/转载官方发布,相关信息仅为传递更多信息之目的,不代表本网观点,不拥有所有权。如发现本网有涉嫌抄袭侵权/违法违规的内容,请及时与本网联系,本网将在第一时间对争议内容进行删除处理!

半导体废气净化设备是什么?半导体尾气处理的设备有哪些?

随着数字时代的飞速发展,半导体芯片现已广泛应用于各个L域,给人们的工作与生活带来了极大的便利。但同时随着半导体制造企业的快速发展,给环境带来了一定的空气污染,必须通过废气...

2022年泛半导体废气治理行业壁垒及发展趋势是什么?(2022年泛

泛半导体产业可谓高能耗、高污染产业,废气种类复杂且治理难度大,其行业主要包括光电显示器件、集成电路制造,其核心生产工艺流程中会产生如酸碱废气、有机废气、氮氧化物等各类成分...

半导体尾气有毒有污染吗?半导体厂的尾气处理有危险吗?

半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分,在工艺过程中,这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs,同时废气中还混合了H...

什么是半导体材料?半导体是什么材料做的制成加工的?

​芯片是信息社会的基础,而指甲盖大小的芯片里都可能有数亿个晶体管,进行大量信息的存储和计算,而硅片是这些晶体管所组成的电路的基板。...

半导体行业废气排放标准是什么?国家半导体厂环保废气处理排

半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分,在工艺过程中,这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs,同时废气中还混合了...

什么是半导体?半导体是什么意思什么东西什么元素?

随着中国半导体产业的发展,中国的半导体材料也在逐渐发生变化,已经从第yi代半导体材料过渡到第三代半导体材料。那么,什么是半导体?半导体是什么意思,什么东西,又是什么元素?...

半导体废气治理有哪些特点?半导体行业废气几大特点介绍

半导体废气治理有哪些特点?下面就半导体行业废气来源种类,永利电玩城网址49797环保公司结合自家公司案例为你分享如下半导体常见的双极管之一的NPN三极管流程主要工艺有:氧化、光刻、N型外延、...

芯片半导体是什么行业?半导体行业是做什么的?

半导体,顾名思义就是导电性介于导体和绝缘体之间的一类物体。通过杂质的掺入而改变材料的导电性能,这便是半导体技术的底层基础。 ...

半导体含砷废气处理方法(半导体含砷废气如何治理)

半导体行业在芯片制程工艺中,因其不间断使用有机溶剂和酸溶液直接产生了大量的有毒有害的废气,且需经过废气处理达标后才能高空排放。本文将介绍半导体含砷废气处理方法。...

半导体企业CVD工艺废气种类及废气处理设备有哪些?(集成电路

在半导体(集成电路)制造中的工艺废气,Z难处理且排放Z多的就是化学气相沉积,简称CVD。如某种型号DRAM的内存芯片制作中(将近四百步的制作工序),CVD的有毒有害废气排放总量占据总排放...