四氟化碳气体怎么处理？半导体四氟化碳废气处理方法介绍
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近年来，随着我国半导体工业的快速发展，四氟化碳气体排放量逐年増加，直接排放会造成空气污染，甚z人体吸入高浓度的四氟化碳会出现呼吸困难、呕吐等窒息症状。那么四氟化碳气体怎么处理？永利电玩城网址49797废气处理公司为您介绍半导体行业四氟化碳废气处理方法如下：
四氟化碳废气处理
由于四氟化碳是目前微电子工业中用量z大的等离子蚀刻气体，因而四氟化碳废气主要产生于半导体产业生产工艺等离子蚀刻。目前，半导体产业四氟化碳废气处理方法，主要是通过直接燃烧方法，热催化氧化方法，等离子体分解方法进行废气净化。
四氟化碳气体处理方法
永利电玩城网址49797环保公司对半导体产业四氟化碳气体处理方法主要采用直接燃烧法（TO），也称为直接火焰燃烧，它是把废气中可燃的有害组分当做燃料直接烧掉，因此这种废气处理方法只适用于净化可燃有害组分浓度较高的废气，或者是用于净化有害组分燃烧时热值较高的废气，因为有燃烧时放出的热量能够补偿散向环境中的热量时，才能保持燃烧区的温度，维持燃烧的持续。
永利电玩城网址49797环保废气处理工程案例：绍兴中芯半导体行业废气处理项目
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